液体气泡检测
在进行涂布工艺时，通常需要通过点胶作业以使玻璃和晶圆之间连接，但是由于各种外界因素导致胶体在流动时会出现气泡，当气泡过大时不仅会影响玻璃和晶圆之间连接的牢固性和可靠，还会影响后续对胶体进行固化时气泡发生爆裂导致坏品率高，故往往需要将含有气泡的这段胶体在进行点胶前丢弃。然而，目前往往采用超声波或者压力来检测液体内是否存在气泡。
超声气泡探测器
超声波是在脉冲电压激励下，由换能晶片发生振动而产生的一种波，其振动频率大于 20 kHz 以上，每秒的振动次数(频率)很高，超出了人耳听觉的上限(20kHz)。超声和可闻声都是一种机械振动，通常以纵波的方式在弹性介质内传播，是一种能量的传播形式。超声波具有频率高，波长短，绕射现象小，在一定距离内沿直线传播具有良好的束射性和方向性等特点。
超声波传感器
超声波传感器可发射、接收。考虑到医学设备中液体(如血液等)流通管路的形状结构一般为圆柱形,选用透过方式较好。这种方式下,发射的超声波将直线传播到接收端换能器。发射端与接收端的超声波换能器芯片封装在一个内空为圆柱形的壳体中,为保证接收端接收效率更高,其发射面与接收面中心应尽量保持在一个水平面上。此外,还要尽可能减小传感器靠近管壁的壳体与管路管壁间的空气隙。超声波从发射面发出以后,一小部分被传感器壳体漫反射,大部分穿过壳体,透过空气隙,再次穿过管路的管壁进入流动的液体中。
以上信息由专业从事超声波传感器公司的东方金荣超声Siansonic于2024/4/23 11:05:47发布
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